减压器系列
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G61 高纯减压器
型号:G61
  • 产品特点

      ●G61 系列波纹管式 Tied-Diaphragm 高纯减压器严格按 SEMI 要求制造,在 Class 100(1S0 5)无坐室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
      ●316L不锈钢母体
      ●波纹管式减压结构
      ●波纹管阀芯一体式结构
      ●压力表标准连接:VSM4
      ●内部电解抛光
      ●经氦气测试
  • 技术参数
  • 资料下载
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