●GS500系列UHP工艺气体控制面板适用于超高纯气体供应系统，长期应用实践证明系统在半导体光伏、LED、TFT等工艺制程中稳定可靠、操作方便，并逐渐沿伸至其他超高纯气体供气应用领域。
●GS500系列UHP工艺三体控制面板采用模块化设计结构，客户可根据各自应用要求，任意组合不同功能模块，从而组成一套适用于特定工艺要求的系统，
●单级式减压器，本体与膜片采用硬密封结构
●适用于中小流量用气场合
●不锈钢316L、黄铜、黄铜电镀材质可供选择
●母体接口螺纹:1/4"FNPT
●手轮调节，精确控制压力，输出稳定·内置过滤网
●CV值:0.15
●适用温度范围:-40C~+70°
●泄漏率(氦检): 2*10-8atm.cc/sec He
●泄漏率(氦检):2*10 atm.cc/sec He
●G21系列高纯减压器严格按照 SEMI要求制造，在Class 100(1S0 5)无坐室组装测试包装，适用于半导体制程中的特种气体控制。
●316L不锈钢母体
●膜片式硬密封
●可采用面板安装和后座安装
●压力表标准连接:VSM4
●内部电解抛光
●氦气测试
