减压器系列
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GHR22 高性能-高流量
型号:GHR22
  • 产品特点

      ●阀体材料 :SS 316L、SS 316L VAR
      ●金属对金属隔膜密封
      ●内部电解抛光,光洁度可达Ra 5uin
      ●内部容积小进口压力可达3500psig
      ●流量系数 CV:0.9(HF=1.1,FC=0.65)
      ●最大流量,SF:800 SLPM、HF:1000 SLPM、FC:1500SLPM
      ●高清洁的组装和包装适用于高纯洁度的半导体产业
      ●每一个产品出厂都经过氦气测试
  • 技术参数
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