减压器系列
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G21 超高纯减压器
型号:G21
  • 产品特点

      ●G21系列高纯减压器严格按照 SEMI要求制造,在Class 100(1S0 5)无坐室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
      ●316L不锈钢母体
      ●膜片式硬密封
      ●可采用面板安装和后座安装
      ●压力表标准连接:VSM4
      ●内部电解抛光
      ●经氦气测试
  • 技术参数
  • 资料下载
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