特气控制面板系列
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    GS500 特气控制柜
    型号：GS500
    立即咨询 400-688-4648
  • 产品特点

      ● GS500系列UHP工艺气体控制面板适用于超高纯气体供应系统，长期应用实践证明系统在半导体光伏、LED、TFT等工艺制程中稳定可靠、操作方便，并逐渐沿伸至其他超高纯气体供气应用领域。
      ● GS500系列UHP工艺气体控制面板采用模块化设计结构，客户可根据各自应用要求，任意组合不同功能模块，从而组成一套适用于特定工艺要求的系统。
      ● 功能模块：工艺气体放空、自动氧气吹扫、自动保压自动切换、系统报警及记录、工艺流量、压力控制、系统急停、安全连锁功能GMS远程接口、阀位指示、多层次用户密码
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